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1、等離子體射頻源:
1.1低功率模式:提供400W 超低功率待機,配備小流量炬管,待機時氬氣用量≤5L/min;
1.2等離子體觀測方式:可配置軸向、徑向、雙向觀測模式。徑向觀測時垂直矩管可耐高鹽。軸向觀測時需配置空 氣壓縮機,使用空氣刀切除尾焰。雙向觀測的等離子觀測位置可調(diào),針對不同元素具有抗干擾能力;
2、進樣系統(tǒng) :
2.1石英炬管:可拆卸三同心型中心管耐氫氟酸外管外徑22mm, 內(nèi)管為18mm, 中心管內(nèi)徑2mm 2.2霧化器:通用耐高鹽霧化器外徑6.2mm
2.3霧室:雙筒型/旋流型霧化室,耐氫氟酸
2.4氣路控制:等離子氣,輔助氣,載氣為質(zhì)量流量計(MFC)
3、光學(xué)系統(tǒng):
3.1光室精密恒溫35℃±0.1℃,真空系統(tǒng)
3.2波長范圍:160-900nm,獨立雙光路,獨立雙光柵
3.2.3光學(xué)分辨率:0.006nm@200,0.012@400nm,0.019@600nm
4、檢測器:
4.1光電轉(zhuǎn)換檢測單元
4.2信號背景同步采集智能積分