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SmartScan 可以自動進(jìn)行成像所需的所有操作,并智能地確定最佳的圖像質(zhì)量和掃描速度。 Park的專有技術(shù)實現(xiàn)了SmartScan的自動化測量??梢詭椭脩粼谧疃虝r間內(nèi)獲得最佳的實驗成果。
由SmartScan所支持的Park SmartLitho功能,基于原子力顯微鏡平臺,可實現(xiàn)對材料,電氣和電子設(shè)備,納米技術(shù)和其他研究領(lǐng)域進(jìn)行納米光刻和納米操作。
Park SmartLitho軟件具有多種光刻模式,支持矢量模式和光柵模式,在SmartScan平臺上運行,它的友好型操作界面為用戶提供了獨立便捷的圖形編輯器。
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