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主要用途
CRESBOX半自動(dòng)四探針測(cè)試儀可用于測(cè)試硅晶片及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、金屬薄膜等材料的電阻率和方塊電阻。
特點(diǎn)
? 具有圖譜軟件功能,可作二維、三維圖形;
? 具有厚度/邊緣/溫度補(bǔ)償功能;
? 全覆式暗箱測(cè)試清除測(cè)量環(huán)境干擾;
? 內(nèi)含溫度傳感器
? USB接口。