作為一類開創(chuàng)性的產品，X射線管被成功的整合到SEM上，實現(xiàn)了SEM+XRF的微區(qū)分析解決方案，其檢測靈敏度高，可實現(xiàn)PPM量級的分析，并且可與EDS聯(lián)合實現(xiàn)全譜分析。

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（白色為EDS譜圖，紅色為XRF譜圖）

相較于EDS譜圖，XRF譜圖具有更低的背底，更高的檢測靈敏度

特點：

1、 可實現(xiàn)ppm量級的分析；

2、 可直接分析不導電樣品；

3、 簡化重疊峰處理；

4、 可與EDS結合實現(xiàn)全譜分析。

應用領域：

1、 地礦文博；

2、 組分分析；

3、 刑偵醫(yī)學；

4、 醫(yī)藥檢測；

5、 質量控制。