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| 最小檢漏率 | 5*10-13Pam3/h | 啟動(dòng)時(shí)間 | 小于3min |
| I/O 接口 | 標(biāo)準(zhǔn)型 15 針 I/O |
| 前級(jí)泵能力 | 15 m3/h | 8.83 cfm | 250 l/min |
| 可檢測(cè)氣體 | 4He，3He，H2 |
| 聲功率 | 52 分貝 (A) |
| 聲壓水平 | 52 分貝 (A) |
| 尺寸（長(zhǎng) x 寬 x 高） | 547 x 375 x 389 毫米 |
| 工作溫度（嗅探測(cè)試） | 0 – 35 攝氏度 |
| 工作溫度（真空測(cè)試） | 0 – 45 攝氏度 |
| 無(wú)校準(zhǔn)的啟動(dòng)時(shí)間 (20°C) | 3 分 |
| 最大耗電量 | 850 瓦 |
| 氦氣的抽氣速率 | 2.5 l/s |
| 氦氣的最小可檢測(cè)泄漏率（嗅探泄漏檢測(cè)） | 5 · 10-10 Pa m3/s | 3.75 · 10-9 Torr l/s | 5 · 10-9 mbar l/s |
| 氦氣的最小可檢測(cè)泄漏率（真空泄漏檢測(cè)） | 1 · 10-13 Pa m3/s |
| 測(cè)試方法 | 真空及嗅探泄漏查找 |
| 電源 | 200 – 240 V, 50/60 Hz |
| 連接法蘭（入口） | DN 25 ISO-KF |
| 重量 | 56 千克 |
| 防護(hù)等級(jí) | IP20 |
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