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牛津儀器X射線能譜儀EDSUltim Extreme適用于Pollutant Particles項(xiàng)目，參考多項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)Oxford Instruments?？梢詸z測(cè)Pollutant Particles等樣品。可應(yīng)用于電子/半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)域。

監(jiān)測(cè)和過(guò)程控制

SEM中EDS分析高空間分辨率和低能端性能。將Extreme電子電路、無(wú)窗設(shè)計(jì)與幾何結(jié)構(gòu)和傳感器的優(yōu)化設(shè)計(jì)相結(jié)合，靈敏度比傳統(tǒng)大面積SDD高15倍。

• 可對(duì)鋰元素進(jìn)行檢測(cè)和成像

• 加速電壓小于2kV時(shí)塊狀樣品中的空間分辨率低于10nm

• 在低于1kV加速電壓下對(duì)材料進(jìn)行表征

• 與浸沒(méi)式電鏡相配合，可在高達(dá)30kV的加速電壓下收集高質(zhì)量的元素信息

Ultim Extreme 硅漂移探測(cè)器是高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用的一個(gè)突破，可提供遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越傳統(tǒng)微米和納米分析的解決方案。

Ultim Extreme是Ultim Max系列中的一款無(wú)窗能譜，晶體面積100mm2，經(jīng)優(yōu)化設(shè)計(jì)來(lái)盡可能提高靈敏度和空間分辨率。它采用跑道型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，優(yōu)化高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡在低加速電壓和短工作距離下工作時(shí)的成像和EDS性能，使用Ultim Extreme，EDS的空間分辨率接近掃描電鏡的分辨率。

• SEM-EDS聯(lián)用時(shí)的高空間分辨率
  

• 場(chǎng)發(fā)射SEM中￡10nm元素表征
  
  

• 表面科學(xué)
  

• SEM中表面表征
  
  

• 低加速電壓下的材料鑒別
  

• 低至1kV加速電壓下的材料表征
  
  

• 快速準(zhǔn)確的納米表征
  

• 塊狀樣品快速采集、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理

• 超輕元素敏感性
  

• 元素探測(cè)能力的新高度，如Li、N、O

能譜探測(cè)器牛津儀器X射線能譜儀EDS 適用于Pollutant Particles,Ultim Extreme

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注：該產(chǎn)品未在中華人民共和國(guó)食品藥品監(jiān)督管理部門申請(qǐng)醫(yī)療器械注冊(cè)和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途