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牛津儀器X射線能譜儀EDSUltim Extreme適用于Pollutant Particles項(xiàng)目,參考多項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)Oxford Instruments??梢詸z測(cè)Pollutant Particles等樣品。可應(yīng)用于電子/半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)域。
監(jiān)測(cè)和過(guò)程控制
SEM中EDS分析高空間分辨率和低能端性能。將Extreme電子電路、無(wú)窗設(shè)計(jì)與幾何結(jié)構(gòu)和傳感器的優(yōu)化設(shè)計(jì)相結(jié)合,靈敏度比傳統(tǒng)大面積SDD高15倍。
可對(duì)鋰元素進(jìn)行檢測(cè)和成像
加速電壓小于2kV時(shí)塊狀樣品中的空間分辨率低于10nm
在低于1kV加速電壓下對(duì)材料進(jìn)行表征
與浸沒(méi)式電鏡相配合,可在高達(dá)30kV的加速電壓下收集高質(zhì)量的元素信息
Ultim Extreme 硅漂移探測(cè)器是高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用的一個(gè)突破,可提供遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越傳統(tǒng)微米和納米分析的解決方案。
Ultim Extreme是Ultim Max系列中的一款無(wú)窗能譜,晶體面積100mm2,經(jīng)優(yōu)化設(shè)計(jì)來(lái)盡可能提高靈敏度和空間分辨率。它采用跑道型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),優(yōu)化高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡在低加速電壓和短工作距離下工作時(shí)的成像和EDS性能,使用Ultim Extreme,EDS的空間分辨率接近掃描電鏡的分辨率。
SEM-EDS聯(lián)用時(shí)的高空間分辨率
場(chǎng)發(fā)射SEM中£10nm元素表征
表面科學(xué)
SEM中表面表征
低加速電壓下的材料鑒別
低至1kV加速電壓下的材料表征
快速準(zhǔn)確的納米表征
塊狀樣品快速采集、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理
超輕元素敏感性
元素探測(cè)能力的新高度,如Li、N、O
能譜探測(cè)器牛津儀器X射線能譜儀EDS 適用于Pollutant Particles,Ultim Extreme
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/注:該產(chǎn)品未在中華人民共和國(guó)食品藥品監(jiān)督管理部門申請(qǐng)醫(yī)療器械注冊(cè)和備案,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途
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