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牛津儀器X射線能譜儀EDSUltim Extreme適用于Pollutant Particles項目,參考多項行業(yè)標準Oxford Instruments??梢詸z測Pollutant Particles等樣品??蓱糜陔娮?半導體行業(yè)領域。
監(jiān)測和過程控制
SEM中EDS分析高空間分辨率和低能端性能。將Extreme電子電路、無窗設計與幾何結(jié)構(gòu)和傳感器的優(yōu)化設計相結(jié)合,靈敏度比傳統(tǒng)大面積SDD高15倍。
可對鋰元素進行檢測和成像
加速電壓小于2kV時塊狀樣品中的空間分辨率低于10nm
在低于1kV加速電壓下對材料進行表征
與浸沒式電鏡相配合,可在高達30kV的加速電壓下收集高質(zhì)量的元素信息
Ultim Extreme 硅漂移探測器是高分辨率場發(fā)射掃描電鏡應用的一個突破,可提供遠遠超越傳統(tǒng)微米和納米分析的解決方案。
Ultim Extreme是Ultim Max系列中的一款無窗能譜,晶體面積100mm2,經(jīng)優(yōu)化設計來盡可能提高靈敏度和空間分辨率。它采用跑道型結(jié)構(gòu)設計,優(yōu)化高分辨率場發(fā)射掃描電鏡在低加速電壓和短工作距離下工作時的成像和EDS性能,使用Ultim Extreme,EDS的空間分辨率接近掃描電鏡的分辨率。
SEM-EDS聯(lián)用時的高空間分辨率
場發(fā)射SEM中£10nm元素表征
表面科學
SEM中表面表征
低加速電壓下的材料鑒別
低至1kV加速電壓下的材料表征
快速準確的納米表征
塊狀樣品快速采集、實時數(shù)據(jù)處理
超輕元素敏感性
元素探測能力的新高度,如Li、N、O
能譜探測器牛津儀器X射線能譜儀EDS 適用于Pollutant Particles,Ultim Extreme
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