在半導(dǎo)體行業(yè)中，每個工藝流程中引入的雜質(zhì)污染，都有可能造成半導(dǎo)體器件缺陷。

Precision Hydrogen Trace 1200氫氣發(fā)生器主要為GC載氣而設(shè)計(jì)，也可用做FID和FPD等檢測器的燃燒氣。一臺發(fā)生器可同時為多臺GC提供氣源。

Precision Hydrogen Trace氫氣發(fā)生器采用質(zhì)子交換膜技術(shù)，電解去離子高純水制氫氣，同時采用變壓吸附和分子篩技術(shù)有效去除水分，產(chǎn)生超高純、痕量級的氫氣，為使用氫氣作GC載氣提供安全、可靠、便捷的氫氣解決方案。此外，Precision Hydrogen Trace氫氣發(fā)生器還能為ICP-MS提供碰撞氣。

同時Precision Hydrogen Trace 1200氫氣發(fā)生器具有諸多強(qiáng)大可靠的安全特性和設(shè)置，保證了用氣無憂，是相比鋼瓶更安全、可靠而且方便的供氣方案。

特征

氫氣發(fā)生器適用于痕量分析，提供燃?xì)夂洼d氣

產(chǎn)生的氫氣純度高達(dá)99.99999%*

氫氣發(fā)生器帶內(nèi)部檢漏功能，一旦發(fā)生故障，系統(tǒng)可自動關(guān)閉

成熟的PEM技術(shù)，可安全、可靠地生產(chǎn)氫氣

可再生的PSA干燥技術(shù)，最大程度地保證氣體純度

標(biāo)配自動裝載泵

維護(hù)簡單，僅需更換去離子柱

小巧、節(jié)省空間的模塊化設(shè)計(jì)

按需生產(chǎn)氫氣，系統(tǒng)內(nèi)只有極少量的氫氣儲存

氫氣發(fā)生器可快速啟動和關(guān)機(jī)

可實(shí)現(xiàn)多臺串聯(lián)，滿足更高流速需求

可選配氫氣泄漏探測器，裝于柱溫箱內(nèi)，監(jiān)測任何可能的泄露

12個月現(xiàn)場質(zhì)保服務(wù)

標(biāo)配提供最長3年電解池保修

*以氧含量計(jì)算（經(jīng)NPL英國國家物理實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)證）

Peak - 大流量集中供氣 氫氣發(fā)生器Precision Hydrogen Trace 1200 氫氣作反應(yīng)氣︱用于半導(dǎo)體行業(yè)的ICP-MS分析,Precision Hydrogen Trace 1200

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