Novascan紫外臭氧清洗系統提供了一種有效的，但非破壞性的干法，分子擦洗，清洗，抗剝離，氧化，表面親水改性，聚合物的改性處理，石墨，表面消毒，材料測試在惡劣的環(huán)境里進行。可使用氧氣清洗或者直接使用空氣方便而且經濟。

處理材料

硅、氧化硅、金屬、砷化鎵

氮化硅、云母、陶瓷、聚合物（有機玻璃）

硼硅玻璃、石英、藍寶石和其他材料

工作原理

PSD和PSDP系列產品通過產生185nm和254nm高強度UV光分解有機分子（污染物）。185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時激發(fā)表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短并且同時也被254nm光分解，樣品臺可以調節(jié)樣品到燈管的距離來優(yōu)化性能。PSD和PSDP分解有機污染物，然后形成CO2和H2O蒸氣，同時也將臭氧分子轉變成氧分子。